W praktyce najczęściej wykonuje się pomiary w pojedynczych punktach, co znacząco skraca czas pomiaru.
Mierzone wielkości mały|490x490px|Przykładowy pomiar widma nano-FTIR zmierzonego na krysztale o grubości około 30 nm. W porównaniu z obrazem topografii powierzchni, obraz odbicia w obszarze jest wklęsły. Wynika to z właściwości optycznych krzemionki, dla której współczynnik odbicia jest mniejszy niż dla krystalicznego krzemu. Przedstawione widmo nano-FTIR zawiera charakterystyczne drganie rozciągające Do opisu oddziaływania w polu bliskim, które występuje pomiędzy ostrzem a próbką wykorzystuje się tzw. współczynnik rozpraszania wyrażany w postaci wielkości zespolonej:
gdzie oraz oznaczają odpowiednio amplitudę i fazę pola bliskiego. Współczynnik rozpraszania łączy ze sobą składowe pola elektrycznego: padającą i rozproszoną w następującej postaci:
Całkowita wartość rozpraszanego pola elektrycznego jest sumą dwóch składowych: składowej tła związanej z oddziaływaniem próbki i padającego światła w polu dalekim (z ang.