Inspirowane origami MEMS lub NEMS wyprodukowane zgodnie z proponowanym podejściem można traktować jako wiele urządzeń o szerokim zakresie zastosowań technologicznych. Zastosowane materiały dotyczą półprzewodników, takich jak SiC, GaN, polimery, takie jak poliamid, metale i ich stopy. Głównym celem zastosowanej technologii jest miniaturyzacja komponentów cienkimi warstwami i rozmiarami w nanoskali, tworząc całe urządzenie jako hybrydę, bez potrzeby dalszego montażu mikro / nano-mechanicznego. Technologia produkcji oparta na idei origami MEMS / NEMS urządzenia lub mikro/nano-robota opiera się na metodach takich jak: rozpylanie jonowe, litografia foto- i elektronowa, nano-produkcja laserowa, laminowanie i metody addytywne, na przykład drukowanie 3D.
Kluczowe etapy wytwarzaniaMarc J. Madou, Fundamentals Of Microfabrication and Nanotechnology Volume III, From MEMS to Bio-MEMS and Bio-NEMS: Manufacturing Techniques and Applications, CRC Press, 2011. Projektowanie komputerowe, modelowanie i symulacje działania origami MEMS/NEMS, tj. kształtu wzoru, rozmiaru, wyboru materiałów i oceny potencjalnej funkcjonalności. Laminowanie warstw podstawowych dla części nie zginalnych i giętych. Warstwy funkcjonalne i strukturalne materiału mogą tworzyć złożoną strukturę.