Ograniczenia długi czas procesu drogi i skomplikowany układ procesowy wysoki koszt stosowanych prekursorów z racji na ich czystość chemiczną wielkość komory czynnikiem limitującym wydajność produkcyjną wymagana podwyższona temperatura procesu, w której większość materiałów organicznych może ulegać dekompozycji
Zobacz też chemiczne osadzanie z fazy gazowej fizyczne osadzanie z fazy gazowej
Przypisy
Linki zewnętrzne Baza danych związków uzyskanych za pomocą metody ALD Kategoria:Inżynieria powierzchni Kategoria:Produkcja półprzewodników