Światło odbija się od luster Zeiss na powierzchnię wafla krzemowego, aby utworzyć układy scalone.
Kolejne maszyny zaawansowanego EUV z aperturą numeryczną zwiększoną z 0,33 do 0,55 zostały wysłane do działów R&D Intela w grudniu 2023 i TSMC w drugiej połowie 2024 roku.
Historia ASM Lithography zostało założone w 1986 roku jak joint venture ASM (holenderskiego przedsiębiorstwa produkującego maszyny do produkcji półprzewodników, założonego w 1964 roku) i Philips. Przedsiębiorstwo weszło na giełdę i zmieniło nazwę na ASML w 1988.
W 2002 roku ASML stał się największym producentem maszyn fotolitograficznych na świecie.
W 2018 roku administracja Trumpa próbowała blokować sprzedaż technologii ASML do Chin, a przez kryzys na rynku półprzewodników spowodował zwiększenie zapotrzebowania na maszyny fotolitograficzne.
W 2021 roku ASML ogłosił, że jest monopolistą w dostarczaniu urządzeń fotolitograficznych do produkcji zaawansowanych chipów dla takich producentów jak TSMC i Samsung.