W 1991 roku naukowcy z Bell Labs opublikowali artykuł, w którym wykazali możliwość wykorzystania długości fali 13,8 nm dla tzw. miękkiej litografii projekcyjnej promieni rentgenowskich. mały|Eksperymentalne narzędzie EUVL, Lawrence Livermore National Laboratory Aby sprostać wyzwaniom litografii EUV, w latach 1990. naukowcy z Lawrence Livermore National Laboratory, Lawrence Berkeley National Laboratory i Sandia National Laboratories otrzymali fundusze na przeprowadzenie badań podstawowych nad przeszkodami technicznymi. Wyniki prac zostały rozpowszechnione za pośrednictwem umowy o współpracy badawczo-rozwojowej w formule partnerstwa publiczno-prywatnego CRADA, przy czym wynalazek i prawa do niego były w całości własnością rządu USA, ale zostały licencjonowane i rozpowszechnione za zgodą Departamentu Energii i Kongresu. CRADA składała się z konsorcjum prywatnych firm i laboratoriów, które utworzyły podmiot o nazwie Extreme Ultraviolet Limited Liability Company (EUV LLC).