Od lat 60. XX wieku zaczęto stosować półprzewodnikowe układy umożliwiające kontrolowane opóźnianie sygnału. Pozwoliło to zbudować praktyczne duże pasywne szyki z elektronicznym skanowaniem (PESA). Sygnał ze wspólnego źródła rozdzielano na setki torów, w wybranych torach wprowadzano opóźnienia, a następnie doprowadzano go do poszczególnych elementów anteny. Fale emitowane przez elementy nakładały się w przestrzeni. Sterowanie ich fazą powodowało wzmacnianie sygnału w wybranym kierunku i jego osłabianie w innych. Zmiana ustawień przesuwników fazowych pozwalała szybko zmieniać kierunek wiązki bez ruchu anteny. PESA może przeszukiwać obszar szybciej niż antena kierowana wyłącznie mechanicznie. Rozwój elektroniki umożliwił także tworzenie kilku wiązek, dzięki czemu radar mógł jednocześnie przeszukiwać przestrzeń, śledzić wybrane cele i naprowadzać pociski z półaktywnym samonaprowadzaniem radarowym. mały|Moduł nadawczo-odbiorczy (T/R) przeznaczony do radarów samolotu Eurofighter Typhoon. Moduły tego rodzaju wzmacniają sygnał i umożliwiają sterowanie jego fazą. AESA powstała wskutek dalszego rozwoju elektroniki półprzewodnikowej. Zastosowanie w latach 80. XX wieku układów z arsenku galu pozwoliło znacznie zmniejszyć odbiorniki, a wykorzystanie tranzystorów JFET i MESFET – także tory nadawcze.