Według dwóch dokumentów służących administracji do ściągania podatków: oblaty taryfy łanowej z 1673 oraz taryfy podatkowej Rzeczypospolitej z 1772 roku wynika, że obszar dawnych księstw Oświęcimia i Zatora liczył łącznie 7 miast (w międzyczasie założono miasta Biała i Zebrzydów) oraz 241 włości z ludnością liczącą 164 577.
Po I rozbiorze Polski (1772) tereny dawnego księstwa oświęcimskiego przypadły monarchii austriackiej, wchodząc w skład ziem odtąd nazywanych w skrócie jako Galicja. Uwzględniając dawne księstwo, oficjalna nazwa tej części zaboru austriackiego po III rozbiorze brzmiała: Królestwo Galicji i Lodomerii wraz z Wielkim Księstwem Krakowskim i Księstwami Oświęcimia i Zatora. W latach od 1820 do 1850 na mocy patentu Franciszka I ziemie dawnego księstwa oświęcimsko-zatorskiego wyłączono z kraju koronnego Galicji i Lodomerii i włączono je do posiadłości czesko-morawskich, co oznaczało inkorporację do Związku Niemieckiego, jednak administracyjnie były nadal częścią Galicji.
W 1918 roku tereny dawnego Księstwa Oświęcimskiego znalazły się w granicach odrodzonej Polski jako część województwa krakowskiego.