Po raz pierwszy termin metafizyka pojawił się u współczesnego Andronikosowi, syryjskiego perypatetyka Nicolausa identyfikowanego z Mikołajem z Damaszku (ur. ok. 64 r. p.n.e.) - choć pojawiają się inne teorie wiążące go z Mikołajem z syryjskiej Laodycei.
Teorię pochodzenia terminu popiera większość wybitnych badaczy Arystotelesa takich jak Zeller, Ross czy Jaeger. Wedle innej teorii uczonego M.H. Reinera tytuł dzieła Metafizyka był inspirowany przez samego Arystotelesa i był używany już przez jego bezpośrednich uczniówK. Leśniak Wstęp do Arystoteles Metafizyka str. xii-xiii, Warszawa, PWN 1983.. Historyk filozofii Giovanni Reale kontestuje natomiast chronologiczną rekonstrukcję etymologii terminu metafizyka z powodu podwójnego znaczenia greckiego prefiksu meta czyli "po" i "poza"/"ponad".Giovanni Reale, La filosofia antica, Jaca Book 1992, str. 19-20. Wychodząc z tego założenia, termin metafizykę można rozumieć jako „to, co wykracza poza fizykę”, a zatem „to, co wykracza poza naturę”. Reale twierdził że z dwóch znaczeń meta to, które jest związane z konceptem sukcesji/następstwa (czyli "po") jest nieistotne i drugorzędne ponieważ nie bierze się pod uwagę całej arytotelejskiej doktryny, w której kluczową jest zasada "jedności bytu" albo "bytu jako bytu" będąca "poza" (lub "ponad") fizyką.