Dane z 2002 roku uważane były za zaniżone m.in. przez Ruch Autonomii Śląska, który ocenił, że wyniki Narodowego Spisu Powszechnego w 2002 r. nie pokrywały się z rzeczywistością i nie dostarczały pełnego obrazu sytuacji narodowości śląskiej w Polsce. RAŚ przedstawiał, iż miały miejsce przypadki odmowy wpisu do formularzy narodowości śląskiej przez rachmistrzów, a także sami rachmistrze już w trakcie szkoleń nakłaniani byli bądź do zmiany narodowości śląskiej na polską, bądź do sugerowania ludziom, aby ci nie deklarowali narodowości śląskiej.
O przypadkach nierzetelności rachmistrzów podczas Narodowego Spisu Powszechnego w 2002 r. donosili także przedstawiciele Związku Ukraińców w Polsce oraz przewodniczący Zjednoczenia Łemków.
W 2011 r. podczas polskiego Narodowego Spisu Powszechnego narodowość śląską zadeklarowało 847 000 osób, w tym 376 tys. osób zadeklarowało ją jako jedyną narodowość, 436 tys. osób jako identyfikację pierwszą, a 411 tys. jako identyfikację drugąNarodowy Spis Powszechny Ludności i Mieszkań 2011. Raport z wyników 21.01.2013.
W 2021 r.