Ważnym zastosowaniem elektronolitografii jest produkcja masek wykorzystywanych w fotolitografii.
Bibliografia Fragment pracy zaliczeniowej „Procesy litograficzne na podłożu półprzewodnikowym” Paweł Majewski wklejony przez autora; Wykład dr Andrzeja Kowalika w Instytucie Technologii Materiałów Elektronicznych; G. L.-T. Chiu J.M. Shaw Optical lithography: Introduction ze strony firmy IBM ; https://archive.is/20121205185623/http://www.lithoguru.com/scientist/lithobasics.html
Kategoria:Litografia (mikrofabrykacja)