Po śmierci Klemensa VIII w 1605 jego znaczenie zmalało. Na obu konklawe w 1605 występował jako lider najsilniejszej frakcji, jednak za każdym razem musiał się zadowalać rozwiązaniami kompromisowymi, a jego niezręczne manewry w ich trakcie osłabiły jego prestiż wśród kardynałów. Wskutek konfliktu z nowym papieżem Pawłem V i jego siostrzeńcem Scipione Caffarelli-Borghese w 1606 musiał opuścić Rzym i wyjechać do Rawenny. Wkrótce potem doszło do zatargu między nim a papieskim legatem w Romanii kardynałem Bonifacio Caetani. W rezultacie musiał na pewien czas uciec na dwór księcia Sabaudii Karola Emanuela. Pojednał się z Caetanim oraz z Pawłem V w 1610, nie odzyskał jednak dawnej pozycji w Kurii Rzymskiej, a jego stosunki z kardynałem Borghese pozostały napięte. Mimo to potrafił zadbać o interes swojej rodziny, nabywając dla niej od korony hiszpańskiej księstwo Rossano w 1612. 31 sierpnia 1620 uzyskał promocję do suburbikarnej diecezji Sabina, pozostając jednocześnie arcybiskupem Rawenny. Uczestniczył w konklawe 1621.