W 2005 roku miała miejsce pierwsza dostawa optyki projekcyjnej EUV do ASML. Udane wykorzystanie promieniowania EUV o długości fali 13,5 nm umożliwiło dalszą redukcję rozmiarów chipów komputerowych. Od 2016 roku firma ASML posiada 24,9% udziałów w firmie Carl Zeiss. Dzięki swojej optyce o wysokiej wydajności firma Carl Zeiss dostarcza centralny system w skanerach litografii EUV firmy ASML i jest tym samym jej najważniejszym partnerem strategicznym.
Według strony internetowej firmy, 80% wszystkich mikrochipów na świecie jest produkowanych z optyką Zeiss.
Carl Zeiss Polska Carl Zeiss Polska jest obecny na rynku polskim od 1970 roku. Ma swoje biura w Poznaniu (siedziba główna), w Warszawie (oddział) oraz Laboratorium szkoleniowo-pomiarowe ZEISS Quality Excellence Center w Tychach. W Tychach mieści się również laboratorium wzorcujące, które działa zgodnie z systemem zarządzania wg normy ISO/IEC 17025 i wykonuje wzorcowania: współrzędnościowych maszyn pomiarowych z głowicą pomiarową stykową o zakresie pomiarowym 0–3818 mm.
Carl Zeiss Polska reprezentują w Polsce następujące grupy biznesowe: technologię medyczną (MED), optykę okularową (VIS), metrologię przemysłową – Industrial Quality Solutions (IQS) oraz mikroskopię – Research Microscopy Solutions (RMS).