Jeszcze przed pierwszą wojną światową w Wielkiej Brytanii powstało kilkaset takich obiektów, intensywnie rozwijały się także w USA, poza tym powstawały kolejne obiekty w Niemczech, a w pierwszych latach XX w. uruchomiono spalarnie w kolejnych krajach europejskich (Dania, Szwecja, Belgia, Szwajcaria, Czechy, Polska). Szybki wzrost liczby spalarni trwał do lat 20. XX w., a następnie po II wojnie światowej; ; ; ; .
W 2009 roku 20% odpadów komunalnych wytworzonych w krajach Unii Europejskiej było przetwarzanych w takich zakładach (w Danii i Szwecji – blisko 50%)Por. ; ; ; . W 2013 r. w Europie istniało przeszło 470 tego typu obiektów, w tym we Francji 129, w Niemczech 72, w Szwecji 28, w Danii 23. W 30 szwajcarskich spalarniach termicznie przekształcane było wówczas 70% wytwarzanych w kraju odpadów. W 2019 roku w Polsce funkcjonowało 8 spalarni odpadów komunalnych. Według danych GUS z 2017 r. 24,4% odpadów komunalnych w Polsce było poddawanych termicznemu przekształcaniu.