Został stworzony z części znoszonego województwa legnickiegoRozporządzenie Rady Ministrów z dnia 15 października 1996 r. w sprawie określenia miast oraz gmin wchodzących w skład województw ().Rozporządzenie Rady Ministrów z dnia 7 sierpnia 1998 r. w sprawie utworzenia powiatów ().. Terytorium powiatu zostało określone w kształcie zmniejszonym w stosunku do tego, jaki posiadał on przed swoją likwidacją w 1975 roku. Wchodzące wówczas w jego skład gminy Gaworzyce, Grębocice i Radwanice weszły w 1999 roku w skład powiatu polkowickiego. Dodatkowo, od 1999 roku w skład powiatu wszedł obszar przysiółka Dębinki, który w 1987 roku został przyłączony do gminy Pęcław (w 1975 roku należał do powiatu lubińskiego)Uchwała nr XVIII/132/87 Wojewódzkiej Rady Narodowej w Legnicy z dnia 26 czerwca 1987 r. w sprawie zmiany granic gmin Pęcław i Rudna ().. Sam powiat przestał być zarządzany z Zielonej Góry, a zamiast tego dołączył do województwa kierowanego z Wrocławia.
Z powiatem głogowskim graniczą jednostki: powiat wschowski w województwie lubuskim od północy, powiat górowski od wschodu, powiaty lubiński i polkowicki od południa, powiaty nowosolski i żagański w województwie lubuskim od zachodu.