System VMS stworzony został przez firmę Digital w drugiej połowie lat 70. Ponieważ system operacyjny powstawał równolegle z komputerami VAX, dla których był tworzony, ostatecznie otrzymał nazwę VAX-11/VMS. Później nazwa systemu parokrotnie ulegała zmianom. Wydanie wersji 2.0 systemu w 1980 r. otrzymało uproszczoną nazwę VAX/VMS. W połowie lat 80. Digital wydał wersję systemu MicroVMS, dla rodziny komputerów MicroVAX, jednak z pojawieniem się wersji systemu rozróżnienie to zarzucono. Komputery MicroVAX działały pod kontrolą systemu VMS. W 1991 r. wydanie wersji 5.5-2 systemu otrzymało nazwę OpenVMS, co związane było z wprowadzeniem zgodności systemu ze standardem POSIX oraz stworzeniem nowej wersji systemu (obok dotychczasowej dla maszyn VAX) dla 64-bitowych procesorów Alpha RISC.
System OpenVMS jest nadal rozwijany. Po przejęciu firmy Digital przez Hewlett-Packard, w 2003 r. wydana została wersja systemu dla 64-bitowych procesorów Intel Itanium.
System VMS, poza architekturą Alpha, która jest bezpośrednim następcą systemów VAX, oraz ostatnio architekturą Intel Itanium, nie został przeniesiony na inne architektury procesorów. Z tego powodu jest znacznie mniej popularny od systemów z rodziny Unix.