Wydział Mechaniki Precyzyjnej Dynamiczny rozwój polskiego przemysłu precyzyjnego i elektronicznego spowodował konieczność zwiększenia liczby kształconej w tej dziedzinie kadry inżynierskiej. Z dniem 1 października 1962 utworzony został Wydział Mechaniki Precyzyjnej. W skład nowego Wydziału weszły katedry powstałe na bazie katedr uprzednio działających na Oddziale Mechaniki Precyzyjnej oraz nowo utworzone. W roku 1968 Wydział składał się z 11 katedr, zatrudniających 15 profesorów i docentów, 30 adiunktów i wykładowców oraz 106 asystentów. Razem – 151 nauczycieli akademickich.
Początkowo Wydział Mechaniki Precyzyjnej mieścił się w budynku Wydziału Mechanicznego Technologicznego. Dzięki staraniom organizatora i pierwszego dziekana Wydziału Mechaniki Precyzyjnej, doc. H. Treberta, zaplanowano budowę zespołu budynków dla nowego wydziału, którą rozpoczęto w 1963 roku. Oddanie do użytku w 1966 r. pierwszego budynku wydziałowego przy ul. Narbutta 87, nieco złagodziło wyjątkowo trudną sytuację lokalową Wydziału.
W 1970 r.