Historia Pierwszy obraz SEM uzyskał niemiecki elektrotechnik Max Knoll (1897–1969) w roku 1935. Topografia powierzchni próbki wykonanej ze stali transformatorowej została uzyskana wprzez wykorzystanie kontrastu kanałowania. W roku 1965 firma Cambridge Scientific Instrument Company uruchomiła sprzedaż mikroskopów „stereoscan” zaprojektowanych przez profesora Sir Charlesa Oatleya (1904–1996) i jego doktoranta Gary’ego Stewarta.
Ogólne informacje thumb|Uproszczony schemat oddziaływania elektron-próbka Długość fali elektronów poruszających się w układzie SEM jest dużo mniejsza niż długość fali światła widzialnego, co umożliwia uzyskanie dużo lepszej rozdzielczość niż w mikroskopii optycznej. Dla światła długość fali wynosi 350–750 nm i jest głównym czynnikiem ograniczającym powiększenie do rzędu 2000×. Natomiast długość fali wiązki elektronów dochodzi do 0,05 nm i ogranicza rozdzielczość dopiero dla powiększeń wynoszących około 3 000 000×.
W klasycznej SEM zakłada się, że ruch elektronów w wiązce omiatającej próbkę jak i wybitych z próbki nie jest zaburzany przez cząsteczki niedokładnej próżni, dlatego wymogiem tej techniki jest próżnia wynosząca co najmniej 10−4 Pa.