Mikroanaliza rentgenowska umożliwia określenie składu chemicznego różnych elementów mikrostruktury materiałów. Wykorzystuje się w tym celu skaningowe mikroskopy elektronowe wyposażone w spektrometry EDS. Pozwala to na analizę pierwiastków o liczbie atomowej > 3 (od berylu wzwyż).

Katodoluminescencja Katodoluminescencja – rekombinacja pary elektron-dziura, która została wytworzona przez wybicie elektronu walencyjnego przez wiązkę pierwotną.

Rozdzielczość thumb|210px|Rys. 6. Pyłki kwiatowe obserwowane za pomocą SEM, ukazujące charakterystyczną głębię ostrości W mikroskopii elektronowej długość wykorzystywanej fali elektronów jest około 105 razy mniejsza od długości fali świetlnej. Charakteryzuje się dużo lepszą rozdzielczością. Bez uwzględniania efektów relatywistycznych elektrony przyspieszone w polu elektrycznym oraz odpowiadająca im długość fali de Broglie’a wyraża się relacją:

gdzie: – stała Plancka [eV·s], – masa spoczynkowa elektronu [kg], – ładunek elektryczny elementarny [C], – napięcie pola elektrycznego [V].

W skaningowej mikroskopii elektronowej rozdzielczość zależy głównie od rozmiaru wiązki skanującej. Im mniejszy jest rozmiar wiązki, tym większą rozdzielczość można uzyskać.