Do tworzenia obrazu może zostać wykorzystany dowolny sygnał powstający w wyniku oddziaływania elektronów z próbką. Powiększenie można kontrolować poprzez zmianę parametrów prądu w cewkach odchylających (rys. 7).
Budowa urządzenia thumb|350px|Rys. 8. Schemat budowy skaningowego mikroskopu elektronowego W skład standardowego oprzyrządowania SEM wchodzą: wzmacniacz wysokiego napięcia źródło elektronów (działo elektronowe) anoda przyspieszająca elektrony emitowane z katody kolumna (układ odchylania i soczewki elektronowe) – następuje w niej przyspieszenie i ogniskowanie wiązki elektronów układ detekcyjny odbierający sygnały emitowane przez próbkę komora robocza ze stolikiem układ pomp wytwarzających próżnię (rys. 8).
Działo elektronowe
Wiązka elektronów może być generowana w wyniku dwóch zjawisk: termoemisji – w wyniku dostarczenia odpowiedniej energii cieplnej elektron opuszcza pasmo przewodnictwa emitera emisji polowej – działo z emisją polową FEG (z ang. field emission gun) znajduje się w bardzo dużym polu elektrycznym, które powoduje znaczne obniżenie energii wyjścia elektronu z emitera.