Widmo XPS może być przedstawione w dwóch skalach: na skali energii wiązania położenie linii spektralnych fotoelektronów nie zmienia się, a położenie linii spektralnych elektronów Augera zmienia się w zależności od energii użytego promieniowania rentgenowskiego. na skali energii kinetycznej położenie linii spektralnych fotoelektronów zmienia się, a położenie linii spektralnych elektronów Augera nie zmienia się w zależności od energii użytego promieniowania rentgenowskiego.
Wyróżnia się dwa podstawowe typy widm XPS: widmo przeglądowe – charakteryzujące się szerokim zakresem energii, małą rozdzielczością, występowaniem licznych linii spektralnych i pozwala jedynie zgrubnie ocenić obecność pierwiastków na badanej powierzchni (rys. 2). widmo szczegółowe – charakteryzuje się wąskim zakresem energii, dużą rozdzielczością, analizuje się zwykle linie spektralną wybranego pierwiastka w celu zbadania przesunięć chemicznych (rys. 3).
Energia wiązania charakterystycznych pików fotoelektronowych (1s, 2s, 2p) są standaryzowane i dlatego XPS pozwala na łatwą jakościową analizę składu chemicznego warstwy powierzchniowej.