Przesunięcie chemiczne jest konsekwencją oddziaływania otoczenia chemicznego atomu, które objawia się przyciąganiem/odpychaniem elektronów w paśmie walencyjnym i przewodzenia, mechanizm jest opisywany przez pasmową teorię przewodnictwa.
Aparatura Standardowa aparatura wykorzystywana w metodzie XPS zawiera: źródło wiązki pierwotnej (lampa rentgenowska), detektor (półkulisty spektrometr XPS), układ próżniowy, układ zasilający i chłodzący.
Możliwości XPS Umożliwia detekcję i analizę ilościową wszystkich pierwiastków z czułością 0,1–0,5 at.% (z wyjątkiem wodoru i helu). Wyznaczanie rodzaju wiązań chemicznych, w których biorą udział pierwiastki obecne na powierzchni. Pozwala identyfikować stany chemiczne pierwiastków. Istnieje możliwość wykorzystania trawienia jonowego i pomiaru kątowego zwiększającego możliwości pomiarowe.
Wady XPS Występowanie efektów termicznych (powierzchnie o słabej przewodności termicznej) np.