Obecnie uważa się, że dyfuzja własna we wszystkich metalach odbywa się mechanizmem wakancyjnym. To twierdzenie poparte jest licznymi dowodami doświadczalnymi: Efekt Kirkendalla ujawnił, że współczynniki dyfuzji składników substytucyjnego stopu metalicznego są różne w zależności od rozmiaru atomu danego pierwiastka. Jedynie założenie o istnieniu wakancji tłumaczy zarówno dyfuzję własną, jak i powyższy efekt. Wakancje są dominującym defektem sieci krystalicznej metalu znajdującego się w równowadze termodynamicznej. Badania przy pomocy izotopów danych pierwiastków oraz pomiar współczynnika korelacji zgadza się z teoretycznymi wyliczeniami i wskazuje na występowanie wakancyjnego mechanizmu dyfuzji.
Zależność temperaturowa od współczynnika dyfuzji własnej Zależność temperaturowa od współczynnika dyfuzji własnej, matematycznie niczym się nie różni od ogólnej relacji Arrheniusa dla procesów dyfuzyjnych wyznaczonych przez Ficka (1829–1901). Wyraża się ona poniższym wzorem:
gdzie: – przedeksponencjalny współczynnik dyfuzji [m²/s], – energia aktywacji dyfuzji [J], – stała Boltzmanna [J/K], – temperatura bezwzględna [K].