19 listopada 1793 mianowany hetmanem wielkim koronnym. Pośredniczył w mediacji pomiędzy królem, a Szczęsnym Potockim. W czasie insurekcji warszawskiej usiłował zdławić ją siłą, nie znalazł jednak poparcia u podwładnych. Pojmany, aresztowany, 9 maja 1794 roku został razem z 3 innymi osobami przekazany przez Radę Zastępczą Tymczasową pod jurysdykcję Sądu Kryminalnego. W czasie procesu:

„Pytano go się, czyli on podpisał rozbiór kraju. Na to Ożarowski odpowiedział, że podpisał. Czyli on za to wziął pieniądze? Odpowiedział, że wziął i jeszcze bierze. Pytanie: czyli on wydał wojsku polskiemu ordynanse na łączenie się z Moskalami i na bicie Polaków? Przyznał, że to on wydał (...)”.

Ożarowski został jako zdrajca skazany na śmierć przez powieszenie. Przyjął wyrok i podpisał go. Wyrok wykonano natychmiast. Razem z marszałkiem Rady Nieustającej Józefem Ankiewiczem i hetmanem polnym litewskim Józefem Zabiełłą został powieszony 9 maja 1794 przed ratuszem na Rynku Starego Miasta w Warszawie. Tego samego dnia wieczorem został pochowany na polu pod Nalewkami.

Był m.in. właścicielem Działoszyc.