Spektrometria mas sprzężona z plazmą wzbudzaną indukcyjnie (ICP-MS, ) – technika spektrometrii mas wykrywania pierwiastków głównie metali i kilku niemetali w stężeniach tak niskich jak jedna część w 1015. Osiąga się to przez jonizację w plazmie indukcyjnie sprzężonej, a następnie za pomocą spektrometru masowego wyznacza ilości jonówKamil Jurowski, Wojciech Piekoszewski, Spektrometria mas sprzężona z plazmą wzbudzaną indukcyjnie z mikropróbkowaniem za pomocą odparowania laserowego LA ICP-MS, Scientiae et Didactics, .
Technikę ICP-MS opracował Gray w 1978 r., a pierwsze aparaty do jej stosowania pojawiły się w 1980 r., kilkanaście lat później niż technika atomowej spektrometrii emisyjnej ze wzbudzaniem plazmowym (ICP-OES, ). Obecnie szacuje się, że na świecie używanych jest ponad sześć tysięcy spektrometrów ICP-MS, które umożliwiają szybką analizę wielopierwiastkową (do 70 pierwiastków w ciągu kilku minut). Technika ta charakteryzuje się dużą czułością, selektywnością, niską granicą oznaczalności oraz szybkością oznaczeń.