Le triméthylsilane est un composé chimique de formule . Il s'agit d'un gaz incolore à l'odeur douceâtre et nauséeuse, très inflammable, susceptible de s'enflammer spontanément en présence d'impuretés et formant des mélanges explosifs avec l'air. Il peut être produit en réduisant le chlorure de triméthylsilyle avec un réducteur approprié, comme l'alanate de lithium : 4 + ⟶ 4 + LiCl + .
Il peut être utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour le dépôt de diélectriques ou de par dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma ().
Notes et références
Catégorie:Composé organosilicié Catégorie:Triméthylsilyle