L'hexafluoroéthane est un perfluorocarbure de formule brute . Il s'agit d'un gaz incolore et inodore plus lourd que l'air, non combustible, très peu soluble dans l'eau mais davantage dans l'éthanol. C'est un puissant gaz à effet de serre, dont le potentiel de réchauffement global (GWP) est de 9200, avec un forçage radiatif de et une durée de vie dans l'atmosphère terrestre estimée à ; son potentiel de déplétion ozonique (ODP), en revanche, est nul. Il est émis, avec le tetrafluromethane CF4, essentiellement lors de la production d'aluminium par électrolyse (procédé Hall-Héroult).
Thermiquement stable, il ne se décompose à l'air libre qu'au-dessus de en fluorure d'hydrogène HF, monoxyde de carbone CO et dioxyde de carbone .
Il est couramment utilisé dans l'industrie microélectronique pour réaliser des gravures sélectives d'oxydes et de siliciures métalliques par rapport à leur substrat métallique, ainsi que pour graver le dioxyde de silicium sur le silicium Si.
Il est utilisé en ophtalmologie pour le traitement chirurgical du décollement de rétine.
Il est également utilisé comme fluide frigorigène, avec le trifluorométhane (fluoroforme).
Notes et références
Catégorie:Perfluorocarbure Catégorie:Réfrigérant Catégorie:Gaz à effet de serre