La croissance assistée par faisceau d'électrons (en anglais (EBID)) est un procédé de décomposition, induite par un faisceau d'électrons, de molécules gazeuses adsorbées sur un substrat. La résultante en est un dépôt solide constitué des fragments non volatils de la molécule de précurseur. Le faisceau d'électrons, s'il provient d'un microscope électronique à balayage ou à transmission (scanning electron microscope) peut permettre la réalisation de structures à haute résolution spatiale (diamètre inférieur au nanomètre), ou des structures tridimensionnelles.
Procédé
Mécanisme de croissance
Résolution spatiale
Matériaux et précurseurs
Avantages
Inconvénients
Croissance induite par faisceau d'ions
Formes
Voir aussi Bibliographie . .
Articles connexes Sonde ionique focalisée Carbonyle de métal Métallocène
Liens externes NIMS EBID page Information source for people active in the field of focused electron beam-induced processes Wikibook on EBID
Catégorie:Faisceau d'électrons Catégorie:Nanotechnologie