Le silicate d'hafnium(IV) est un composé chimique de formule brute . Il s'agit formellement du sel d'hafnium et d'acide silicique.
Des couches minces de silicate d'hafnium(IV) et de silicate de zirconium(IV) obtenues par dépôt chimique en phase vapeur (CVD), le plus souvent aux organométalliques (MOCVD), peuvent être employées comme diélectriques à la place du dioxyde de silicium dans l'industrie des semiconducteurs .
Notes et références
Hafnium Catégorie:Composé de l'hafnium Catégorie:Diélectrique high-k