EUV peut désigner : extreme ultraviolet radiation (en français, rayonnement ultraviolet extrême), un rayonnement électromagnétique dans la partie du spectre électromagnétique couvrant les longueurs d'onde de 124 à 10 nm ; lithographie EUV (où EUV signifie extrême ultraviolet), un procédé de photolithographie assez semblable aux procédés de lithographie classiques actuels.