Le disiliciure de tungstène est un composé chimique de formule . Il s'agit d'une céramique réfractaire semiconductrice de couleur bleu-gris W. M. Haynes, CRC handbook of chemistry and physics. A ready-reference book of chemical and physical data, David R. Lide, 93 édition, CRC Press, Boca Raton, 2012, . , obtenue notamment en faisant réagir de l'hexafluorure de tungstène avec du silane , du dichlorosilane ou du disilane Hugh O. Pierson, Handbook of Chemical Vapor Deposition. Principles, Technology and Applications, William Andrew, Elsevier Science, 1999, . :
2 + ⟶ + 6 HF + ; 2 + + 3 ⟶ + 6 HF + 2 HCl ; + ⟶ + 6 HF.
Il est utilisé comme matériau de contact dans l'industrie des semiconducteurs, où il est appliqué par dépôt chimique en phase vapeur R. A. Levy, Microelectronic Materials and Processes, Springer, 1989, . ().
Notes et références
tungsene Catégorie:Composé du tungstène Catégorie:Matériau céramique Catégorie:Matériau réfractaire Catégorie:Matériau semi-conducteur