Les nitrures de tantale sont des céramiques constituées de tantale et d'azote. Ils existent selon plusieurs stœchiométries et plusieurs polymorphes : , TaN α, TaN ε, , et . Le plus utilisé d'entre eux est le mononitrure de tantale TaN, qui est une céramique ultraréfractaire. Il est employé comme barrière et couche adhésive () dans la production de circuits intégrés.
Il est possible d'obtenir des couches de nitrure de tantale de plusieurs manières. La méthode la plus utilisée est la pulvérisation cathodique de tantale en présence d'ions d'azote (pulvérisation réactive). Les procédés par dépôt chimique en phase vapeur ou par sont également envisageables. Ils nécessitent des précurseurs organométalliques comme sources de tantale. Une source d'azote est également nécessaire, comme l'ammoniac , fréquemment utilisé, qui se dissocie aux températures habituelles de de ces procédés. Des gaz tels que le tris(diéthylamido)(tert-butylimido)tantale() (n° CAS ) peuvent servir de source à la fois de tantale et d'azote. Outre ces techniques, il est également possible de procéder par implantation ionique d'azote dans des couches de tantale.
Le nitrure de tantale() peut être obtenu en faisant réagir de l'oxyde de tantale(V) avec de l'ammoniac ou du chlorure de tantale(V) avec du chlorure d'ammonium Georg Brauer, Handbuch der Präparativen Anorganischen Chemie, , , Ferdinand Enke, Stuttgart 1981, . :
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Notes et références
tantale Catégorie:Composé du tantale Catégorie:Matériau céramique Catégorie:Matériau réfractaire