Le néopentasilane est un composé chimique de formule . Il se présente sous la forme d'un liquide incolore pyrophorique.
Il est utilisé notamment dans l'industrie des semiconducteurs pour produire des couches minces de silicium par dépôt chimique en phase vapeur (), et permet également d'obtenir du nitrure de silicium par assisté par plasma ().
Notes et références
Catégorie:Silane