En chimie, on appelle oxyfluorure un composé qui est à la fois un oxyde et un fluorure.
Exemples d'oxyfluorures : Fluorure de nitrosyle NOF Fluorure de perchloryle Oxyfluorure de phosphore Oxyfluorure de seaborgium Oxyfluorure de sélénium Oxyfluorure de xénon, qui désigne une famille de composés où n = 1, 2 ou 3, et p = 2 ou 4, vérifiant l'inégalité 2n+p ≤ 8. etc.