Az oxalil-fluorid a savfluoridok közé tartozó szerves vegyület, az oxálsav fluorozott származéka. Vizsgálják alkalmazhatóságát a felületek maratására használt, nagy globális felmelegedés potenciállal rendelkező anyagok helyettesítőjeként.Method of etching and cleaning using fluorinated carbonyl compounds, US Patent 6635185.
Fordítás
Hivatkozások
Kapcsolódó szócikkek Oxalil-klorid
Kategória:Savhalogenidek