jobbra|bélyegkép|200x200px| 1. ábra – Mikrobélyegző „betintázása”. A felületi mintával ellátott PDMS bélyegzőre etanol és ODT (oktadekántiol) keverékéből álló oldatot juttatunk. Utóbbi a "tinta", amit végül az arany felületre akarunk felvinni. jobbra|bélyegkép|200x200px| 2. ábra – Az oldatban lebegő ODT leülepszik a PDMS bélyegző felszínére és vékony réteg alakul ki belőle. Mikor az etanol elpárolog, a bélyegzőn ottmarad az ODT "tinta" rétege. jobbra|bélyegkép|216x216px| 3. ábra – Az ODT-vel "betintázott" PDMS bélyegzőt az arany hordozóra helyezzük és az ODT az arany felületéhez köt. A bélyegző eltávolításakor az arannyal érintkező ODT az arany felületén marad (erősebben kötődik hozzá, mint a PDMS-hez). Így a bélyegző mintája az aranyra kerül. A lágy litográfia (angolul: soft lithography) olyan technikák családja, amelyekben elasztomer (lágy, rugalmas) anyagokat, leginkább PDMS-t alkalmaznak. Egyrészt belőlük egy előre elkészített öntőformáról (angolul: mold) készítenek másolatot (replika). Ezek a másolatok lehetnek mikrocsatornák vagy más csiplaboratóriumi eszközök. Másrészt, az ábrákon példaként bemutatott mikrobélyegzőkkel történő pecsételés is lágy litográfiás technikának számít.
A lágy litográfiát általában a mikrométertől nanométerig terjedő mérettartományba eső részletekkel bíró struktúrák létrehozására használják. Egy ideje már kaphatók a kereskedelemben lágy litográfiai eszközök.
Típusok
PDMS mikrobélyegző Mikrokontaktus nyomtatás Többrétegű lágy litográfia Nanogömb litográfia Maratással létrehozott nanoméretű felületi mintázatok
Előnyök bélyegkép| Egy sík felületen, lágy litográfiával (PDMS mikrobélyegzővel) sztreptavidinből létrehozott négyzetrácsmintázat SEEC mikroszkópos képe. A lágy litográfiának van néhány egyedi előnye a litográfia más formáihoz (például a fotolitográfiához és az elektron-nyaláb litográfiához ) képest, a következők:
Alacsonyabb tömeggyártási költség, mint a hagyományos fotolitográfia esetén Kiválóan alkalmas biotechnológiai alkalmazásokhoz Kiválóan alkalmas műanyag elektronikai alkalmazásokhoz Kiválóan alkalmas nagy vagy nem sík felületeket érintő alkalmazásokhoz Többféle mintázatátviteli módszer is lehetséges, mint a hagyományos litográfiai technikáknál (többféle „tinta”) Nincs szükség fotoreaktív (például fotopolimer) felületre a nanostruktúra létrehozásához A létrehozott struktúrák estében jobb térbeli feloldás érhető el, mint a fotolitográfiában. Ott ~30 nm, a felbontás, míg lágy litográfiában (az öntőformához használt maszk felbontásától függően) ez elérheti akár a -t.
Kapcsolódó oldal Nanolitográfia
Fordítás
Jegyzetek
Kategória:Technológia