Micromáquinas são objetos mecânicos que são fabricados da mesma maneira geral como circuitos integrados. Seu tamanho geralmente é estimado entre 100 nanômetros a 100 micrômetros de tamanho, embora isso seja discutívelL.Vintro, Can Micromachining Deliver? Solid State Technology, Abril, 1995, pp. 57-61K.D.Wise, "Silicon Micromachining and Its Application to High-performance Integrated Sensors", Micromachining and Micro-packaging of Transducers, edited by C.D.Fung, P.W.Cheung, W.H.Ko and D.G.Fleming, Elsevier Science Publishers B.V., Amsterdam, 1985, pp. 3-18.
Categoria:Engenharia elétrica Categoria:Eletrotécnica