Гексафторэта́н (перфторэта́н) — бинарное химическое соединение углерода и фтора из семейства перфторуглеродов с химической формулой C2F6. Полностью фторзамещённый аналог этана. При нормальных условиях — тяжёлый бесцветный газ, без запаха, относительно инертен. Нетоксичен, в высоких концентрациях может вызывать удушье из-за нехватки кислорода.
Физические свойства Плотность 5,734 кг/м3 при 24 °C (почти в пять раз тяжелее воздуха). Температура плавления −100,6 °C, температура кипения = −78,2 °C. Практически нерастворим в воде, слегка растворим в метаноле.
Химические свойства Химически инертен.
Применение Гексафторэтан используется в микроэлектронике в качестве универсального травления в производстве полупроводников. Его можно использовать для селекционного травления металлических силицидов и оксидов при обработке металлических подложек, а также для травления диоксида кремния. Применяется также в качестве хладагента в смеси с трифторметаном.
Воздействие на природу Из-за высокой энергии связи C-F, гексафторэтан почти инертен и, таким образом, действует как стабильный и долговечный парниковый газ с продолжительностью существования в атмосфере в 10 000 лет (другие источники: 500 лет).
Гексафторэтан не существовал в значительных количествах в окружающей среде до эпохи промышленного производства. В начале XXI века атмосферная концентрация гексафторэтана достигла 3 частей на триллион.
Примечания
Категория:Хладагенты Категория:Перфторалканы Категория:Парниковые газы Категория:Газы Категория:Фторорганические соединения Категория:Фториды