miniatyr|Stadsplan för Uleåborg av Claes Claesson (1651). Stadsplanering i Finland inleddes i början av 1600-talet, då överhetens strävan att utveckla stadsinstitutionen gav upphov till de första egentliga stadsplanerna för Finlands nya och gamla städer.
De äldsta stadsplanerna Olof Bure uppgjorde för de nya städerna Nykarleby (1617), Gamlakarleby (1620) och Torneå (1620) de första rutstadsplanerna med tendens till regelbundet gatumönster. Per Brahe åter lät utföra de första geometriskt regelbundna stadsplanerna med räta gator som en fortsättning på renässansperiodens stadsideal. Anders Torstensson på 1630-talet och Claes Claesson något senare var de mest produktiva stadsplanerarna.
Samtliga städer utom Borgå och Ekenäs fick sina regleringsplaner, vilket vanligtvis ledde till svåra konflikter med borgerskapet, eftersom den existerande bebyggelsen i städerna föreslogs totalt förnyad. Stadsplanen för Björneborg (1642) av Torstensson var ett typiskt uttryck för bemödandena att skapa slutna gatuvyer, räta gator och ett centralt torg med goda förbindelser till hamnen. Tullstängslet kring staden markerade tydligt gränsen mellan stad och landsbygd. Efter stora ofreden tillkom planen för Fredrikshamn. Den var uppgjord enligt fortifikationstekniska principer och fick formen av en befäst åttkantig stad, där åtta gator löpte mot centrum sammanbundna av två oktogonala ringgator; en så kallad oktogonal radialstad. Den hör till de få planer för radialstäder enligt norditalienska teoretiska förebilder, som realiserats i Europa. Arkitekten är förmodligen fortifikationsofficeraren Axel Löwen. Augustin Ehrensvärds stadsplan för Lovisa (1747) introducerade motiv, som var typiska för den kontinentala barockperioden, som halvcirkelformade platser, strålformigt uppdragna gator, symmetrisk gruppering av byggnader och liknande kring tänkta linjer (axiala kompositioner) och ett medvetet utnyttjande av månghörniga (polygonala) kvartersformer. Vidare kom Ehrensvärds planer för Helsingfors på 1750-talet och i synnerhet de långt realiserade planerna för Sveaborg från 1747 att få stor betydelse för byggnadskonsten i landet. I Stockholm uppgjorde Carl Johan Cronstedt flera barockplaner (bland annat för Kaskö), vilkas grandiosa uppläggningar inte motsvarade anspråkslösheten i bebyggelsen och ekonomiska resurser.
Under Gustav III:s tid skedde dels en utveckling mot klassicism i fråga om formen, dels en medveten teknisk förnyelse, som innebar att brandsäkerheten särskilt beaktades. Kuopio stadsplan från 1775 uppvisar ett strikt regelbundet rutmönster med cirka 15 meter breda gator, mot tidigare 10–12 meter. Dessutom introducerades inre brandgator i kvarteren. Parker med ståtliga axialkompositioner, som var utmärkande för klassicismen, finns bland annat i planen för Tavastehus av Axel Magnus von Arbin (1778) och för Gamla Vasa av Carl Fredrik Adelcrantz (1780-talet).
1800-talet miniatyr|Carl Axel Setterbergs stadsplan för Vasa (1855). Sedan Helsingfors upphöjts till huvudstad för storfurstendömet erhöll Johan Albrecht Ehrenström det dittills, näst planeringen av Sveaborg, viktigaste planeringsuppdraget i Finland. Ehrenström utarbetade 1812–1817 en plan, som dominerades av representationssynpunkter. Av den existerande, delvis nedbrunna staden bibehölls endast nuvarande Alexandersgatans sträckning. Området uppdelades i stadsdelar, åtskilda och framhävda av esplanadsystemet, som förband de medvetet utformade hamntorgen på vardera sidan av stadsudden. Planen förutsatte en systematisk uppdelning av bebyggelsen i sten- och trähuszoner, där gatubredden varierade betydligt beroende på gatans karaktär. I planen ingick en noggrant uttänkt gruppering av bebyggelsen i de olika stadsdelarna kring bostads- eller monumentaltorg samt för första gången en utförlig redovisning av de offentliga byggnadernas placering och stadsplanemässiga roll i miljön. Vid realiserandet av stadsplanen gav de privata och offentliga byggnaderna i nyklassisk skepnad, utformade av Carl Ludvig Engel och hans medarbetare, staden en enastående enhetlig prägel. I stadsplanen för Åbo efter den förödande branden drog Engel (1828) upp riktlinjerna för stadsplaneringen i Finland fram till industrialismens genombrott. Brandsäkerhet och monumentalitet var huvudmålsättningarna i denna plan, där bebyggelsen i kvarteren fick en inre gräns, där de offentliga byggnadernas placering noga studerades och där den sociala differentieringen betonades genom att tomtstorleken avtog mot periferin. Grönskan i gatubilden, enhetliga räckor av nyklassiska trähus och fritt stående offentliga byggnader, gav staden dess karaktär, som bestod till början av 1900-talet. Vid sidan av nyklassiska planer för nya städer (Jyväskylä, S:t Michel, Heinola och Joensuu) uppgjordes under Engels ledning även totalsaneringsplaner bland annat för Gamla Borgå och Skatudden i Helsingfors (bägge 1832).
För det nya Vasa utarbetade Carl Axel Setterberg, som inflyttat från Sverige, 1855 en plan, som han uppföljde genom att även rita de flesta offentliga byggnaderna i en romantiserande stil. Nytt i förhållande till Åboplanen var det accentuerade esplanadsystemet som estetiskt element, de yppigt planterade brandgatorna, de fritt stående offentliga byggnaderna med sina omgivande parkanläggningar och de romantiserade strandparkerna, där strandlinjen fick bibehålla sin naturliga utsträckning. Den sociala differentieringen med tomtstorleken som måttstock är noga genomförd. Planen fick en viss betydelse på grund av att den ingick bland Albert Lindhagens berömda mönsterplaner från 1860-talet. Det rikssvenska inflytandet över stadsplaneringen strax före industrialismens genombrott på 1860-talet syns i Georg Theodor Chiewitz plan för Mariehamn (1859), där Adolf W. Edelsvärds idealstadsprinciper från samma år går igen. Chiewitz uppgjorde även planerna för Björneborg (1853) och Nystad (1855), där grönområden, regelbundna kvartersrutor, esplanader, fritt stående monumentalbyggnader inbäddade i grönska och representativa hamnanläggningar utgör de centrala inslagen.
Det industriella genombrottet efter 1860-talet medförde inte någon förbättring av kvaliteten i planeringsarbetet. Planeringen skedde nu allt oftare under ledning av ingenjörer. Tidigare principer för kvartersbildningen repeterades ofta schematiskt. Nya inslag i stadsbilden blev industri- och lagertomter samt bostadstomter för industriproletariatet i stadens utkanter. Ett exempel på detta är Ferdinand Öhmans stadsplan för Nurmes nya köping (1879). Det var inte ovanligt att fabrikernas och arbetarnas nya miljöer formades utan egentlig stadsplanering utanför stadens gränser, eller på industritomter, som schematiskt utstakades på lämpliga områden. I större städer blev resultatet okänsligt uppgjorda planer med synnerligen hög exploateringsgrad, som i planen för Skatudden i Helsingfors av ingenjör Herman Norrmén (1894).
1900-talets första decennier Kring sekelskiftet 1900 skedde en plötslig förändring av stadsplaneringsideologin, inspirerad av österrikaren Camillo Sittes krav på en målerisk och konstnärlig utformning av stadsbilden. Lars Sonck och Valter Jung blev banérförare i Finland för de nya synpunkterna, som framlades i artikeln Modern vandalism; Helsingfors stadsplan. Den publicerades 1898 med bistånd av journalisten Guss Mattsson. De nya idéerna fick sitt genombrott i tävlingen om stadsplan för Tölö i Helsingfors (1899). Den medeltida hansastadens krokiga, stenhuskantade gator, pittoreska vyer, kontinuerliga gaturumsbildningar och ett medvetet utnyttjande av terrängförhållandena var drag i de prisbelönta planerna. Tölö stadsplan av Gustaf Nyström och Lars Sonck (1903) blev en kompromiss mellan konstnärliga ambitioner och ekonomiska realiteter; exploateringsgraden var alltför hög. Det romantiska villastadsidealet, som låg i tiden, fick sin utformning av Sonck, Armas Lindgren och Bertel Jung i stadsplanen för Villa-Eira (1906) i Helsingfors, som dock huvudsakligen realiserades med maskerade hyreskaserner.
Kring Helsingfors uppstod 1906–1907 ett flertal villastäder på privat initiativ, många i rent spekulationssyfte. Här utarbetade arkitekter småhus- och villastadsplaner enligt de nya romantiska principerna, till exempel Bocksbacka Ab (Birger Brunila 1908), Ab Parkstad-Wanda (Gustaf Strengell 1907), Alberga Ab (Sonck 1908) och Haga villastad (Sonck 1901). Konsekventast realiserades trädgårdsstadens principer i det överklassdominerade, helt privata Brändö villastad strax öster om Helsingfors. Soncks plan (1909) upptar ett känsligt mönster av samspel mellan villakvarter, flervåningshus och radhus, utstuderade gatuvyer och axiala utblickar mot viktiga landmärken i skärgården.
Ur dessa arbeten utkristalliserade sig den moderna stadsplaneringens principer. De fick sin utformning i de planer Eliel Saarinen uppgjorde för Munksnäs-Haga (1915), som ägdes av Ab M.G. Stenius; härvid gjorde sig engelsmannen Raymond Unwins idéer om trädgårdsstaden kraftigt påminda. Saarinens vision av det starkt expanderande Helsingfors utarbetades till en helhetsplan för den dåvarande staden, till vilken Munksnäs-Haga skulle anslutas med en tänkt befolkning på 170 000 personer år 1945. Planen uppföljdes av en ännu mera storartad helhetsplan för Stor-Helsingfors (Pro Helsingfors, 1918) av Saarinen, finansierad på privat initiativ. Helsingfors skulle utvecklas till en modern storstad med ett perifert pärlband av nya, relativt självständiga förstäder, förbundna med ett spårvägsnät. Helsingfors centrum föreslogs bli förnyat med en enhetlig, monumental citystruktur från Järnvägstorget till nuvarande Böle, dit den då knappt tio år gamla centralstationen skulle flyttas. Planen uppmärksammades även utomlands och bidrog till att ge Saarinen internationellt rykte.
Den strama klassicism som utmärkte arkitekturen på 1920-talet efter sekelskiftets romantiserande ideal framträdde mest särpräglat i stadsplanen för Kottby trädgårdsstad för industriarbetare, uppgjord av Birger Brunila och Otto-Iivari Meurman. Bebyggelsen planerades av Martti Välikangas. Även i centrumtävlingen för Helsingfors 1925 gavs prov på förfinad och förtätad urban stadsbyggnadskonst, i synnerhet i Hilding Ekelunds förslag med nyanserade vattenmotiv, framhävda enskilda byggnader och perspektiv.
Att funktionalismen på 1930-talet inte resulterade i många betydande stadsplaner berodde på att det ännu fanns gott om färdigt planerad mark både i och utanför städerna. Olympiabyn i Kottby fick en intressant funkisutformning, där Brunila och Ekelund (stadsplanen) samt Välikangas (byggnaderna) 1939–1940 åstadkom ett väl avvägt samspel mellan torr tallskog och känsligt utformade lamell- och tornbyggnader. Alvar Aaltos plan för Sunila Oy:s fabrikskomplex och bruksortsmiljö i Bärnäs (1935) är, i likhet med alla andra stadsplanearbeten av Aalto, ett totalverk av växelverkan mellan byggnader, stadsrum och natur.
Efterkrigstiden