Наноелектромехані́чні систе́ми або НЕМС — пристрої та технології, що поєднують в собі електронні і механічні компоненти розміром до 100 нм.
Основні параметри
Наноелектромеханічні системи є наступним кроком мінітюарізаціі для мікроелектромеханічних систем.
НЕМС використовуються як високочастотні осцилятори (до 10 ГГц), наномотори і модулятори.
Як матеріали для виготовлення НЕМС широко використовуються графен і вуглецеві нанотрубки.
Сучасний стан
На початку ХХІ ст., наноелектромеханічні системи можуть виготовлятися як методами зверху-вниз, до яких відносяться традиційні методи мікроелектроніки (оптична та електронно-променева літографія), так і методами знизу-вгору, такими як молекулярне розпізнавання і самоскладання.
Примітки
Minatec Site sur les nanosystèmes étudiés à l’IMEP, Grenoble Nanoquebec Site de NanoHive@Home. Projet de calcul réparti utilisant BOINC pour simuler des nanosystèmes afin d'approfondir les connaissances sur les nanotechnologies.
Джерела DIN SPEC 1121; DIN ISO/TS 27687:2010-02: Nanotechnologien – Terminologie und Begriffe für Nanoobjekte – Nanopartikel, Nanofaser und Nanoplättchen (ISO/TS 27687:2008); Deutsche Fassung CEN ISO/TS 27687:2009.