Вакуумме́тр (вакуум-манометр, електропорожнявомі́рРосійсько-український електрорадіотехнічний словник. 30 000 термінів. Укладачі: Ю. Т. Величко. К.: В-во АН УРСР, 1961) (, ; ) — прилад для вимірювання тиску розрідженого газуДСТУ 3711-98 Засоби вимірювань тиску. Терміни та визначення. або для вимірювання глибини вакууму: різниці між атмосферним тиском і тиском розрідженого газу.
Опис Вакуумметри використовуються для вимірювання тисків в діапазоні від 760 до 10−13 мм рт. ст. (105…10−11 Па). Універсального методу вимірювань, що охоплює весь цей діапазон, не існує, тому використовуються різноманітні фізичні закономірності, пов'язані (прямо чи опосередковано) з тиском газу.
Поширені теплові вакуумметри, зокрема, з термопарами, дія яких ґрунтується на залежності теплопровідності газу від тиску. Існують вакуумметри рідинні, деформаційні, компресійні, радіометричні, в'язкісні, іонізаційні (альфатрони) тощо. Кожен з цих типів вакуумметрів розрахований на вимірювання тиску у певному діапазоні.
Усі вакуумметри можуть бути розділені на дві групи: абсолютні та відносні.
Абсолютний вакуумметр — вакуумметр, чутливість якого однакова для всіх газів і може бути розрахована за вимірюваними фізичними величинамиДСТУ 2758-94 Вакуумна техніка. Терміни та визначення.. Такі прилади вимірюють безпосередньо тиск газу, їх покази не залежать від роду газу. Нижня межа тисків абсолютних вакуумметрів 10−6 мм рт. ст. (10−4Па). До них належать рідинні, деформаційні і компресійні вакуумметри.
Відносні вакуумметри вимірюють величини, що є залежними від тиску. Вони градуюються за абсолютними зразковим вакуумметром, їх покази залежать від роду газу. До них належать теплові, іонізаційні, в'язкісні і радіометричні вакуумметри.
Примітки
Джерела
Засоби та методи вимірювань неелектричних величин [Текст]: підручник / Є. С. Поліщук [та ін.]. ; ред. Є. С. Поліщук ; Ін-т інноваційних технологій і змісту освіти. — Львів: Бескид Біт, 2008. — 618 с. — ISBN 966-8450-22-1 Храмов А. В. Первинні вимірювальні перетворювачі вимірювальних приладів і автоматичних систем [Текст]: навч.посіб. / А. В. Храмов. — К. : Вища школа, 1998. — 527 с. — ISBN 5-11-004736-7