Normalizacja widm Podobnie jak w klasycznej spektroskopii FTIR, widma nano-FTIR muszą zostać znormalizowane. Dokonuje się jej w celu zminimalizowania wpływu działania aparatury na otrzymane wyniki oraz umożliwienia jakościowej analizy widm otrzymanych m.in. w różnych zakresach spektralnych, odstępach czasu lub przy wykorzystaniu innych parametrów eksperymentalnych. W odróżnieniu od techniki FTIR źródłem sygnału pola bliskiego jest oddziaływanie pomiędzy próbką a sondą, dlatego też pomiar tła bez wykorzystania materiału odniesienia (np. w powietrzu) jest bezcelowy. W tym celu wykorzystuje się materiały, które w badanym zakresie widma nie wykazują absorpcji ani innych zjawisk rezonansowych, np. wzbudzania polarytonów: ekscytonowych, fononowych lub plazmonowych. Najczęściej wykorzystywanymi materiałami odniesienia w pomiarach nano-FTIR są złoto i krzem. Proces normalizacji widma nano-FTIR składa się z dwóch etapów: w pierwszej kolejności dokonuje się pomiaru widma na materiale referencyjnym, a następnie wykonywany jest pomiar widma materiału badanego z zachowaniem tych samych parametrów eksperymentalnych (amplituda drgań dźwigni AFM, zakres i rozdzielczość spektralna, moc źródła promieniowania).