Ostatnimi właścicielami Starych Tarnowic była od 1820 roku rodzina hrabiów i książąt Henckel von Donnersmarck ze Świerklańca, która w 1822 roku przekształciła dobra tarnowickie (z Pniowcem, Opatowicami i Kolonią Wolności) w fideikomis. W 1891 roku hrabia Guido Henckel von Donnersmarck połączył tereny Starych Tarnowic i Rept w jeden fideikomis dla swego młodszego syna hrabiego Krafta. Rezydował on w neorenesansowym pałacu w parku na pograniczu Rept i Starych Tarnowic.
Po 1922 r. osada znalazła się w granicach II Rzeczypospolitej. W latach 70. i 80. na polach między Starymi Tarnowicami a Opatowicami wzniesiono osiedle „Przyjaźń” – największe osiedle mieszkaniowe Tarnowskich Gór. W okresie międzywojennym w miejscowości stacjonowała placówka Straży Granicznej I linii „Tarnowice Stare”.
Panowie Starych Tarnowic Adam de Tarnowice (wzmianki między 1310 a 1351) Święcisław (wzmianka w 1369) Sambor (wzmianka w 1411) Mikołaj i Teodor Włodkowie herbu Sulima (wzmianka 1415) Wrochemowie – od co najmniej 1525 do 1603 r. Ohm-Januszewscy – 1603 – XVIII w. Karol Łazarz Henckel von Donnersmarck – 1820–1848 Guido Henckel von Donnersmarck – 1848–1916 Kraft Henckel von Donnersmarck – 1916–1945