Proces ten trwał do marca 1945 roku.
Obszar powiatu zasadniczo nie zmieniał się do roku 1975, obejmował teren obecnego powiatu oraz gminy: Koniecpol, Szczekociny, Lelów i Irządze. Po likwidacji w ramach reformy z 1975 roku został on ponownie odtworzony w obecnym kształcie w roku 1999.
Naczelnicy Powiatu Włoszczowskiego (1867-1914)R. P. Pacanowski, Władze administracyjne powiatu włoszczowskiego w latach 1867–1915. Krótka charakterystyka organów władzy i szkice biograficzne osób piastujących urząd naczelnika powiatu, [w:] Z dziejów Włoszczowy i okolic, red. I. Boratyn, M. Staniaszek, Włoszczowa 2020, s. 259–268.
Nikołaj Nikołajewicz Wasilisin /1867-1868/ Karl Bernard Karlowicz von Derfelden /1868-1872/ Fiodor Jemilianowicz Bujanowskij /1872-1873/ Iwan Samojłowicz Swiedierus /1873-1879/ Lew Fiodorowicz Gorbaczewicz /1879-1883/ Awskienij Jakowlewicz Aleszko /I-XII 1884/ Oskar Silwester Lubrecht Reinheldowicz von Bock /1884-1894/ Nikołaj Aleksandrowicz Wwiedienskij /1894-1900/ Antonin Michajłowicz Kazarinow /1904-1905/ Nikołaj Władimirowicz Wołkow /1905-1906/ Nikanor Kliemientijewicz Sawicz /1906-1909/ Anton Nikołajewicz Sziłow /1909-1914/ Ignatij Aleksandrowicz Piewcow /1914-1915/