Powiat został stworzony przez władzę rosyjską w 1867 roku jako fragment guberni kieleckiej. W jego skład weszły ówczesne gminy: Chrząstów, Irządze, Kluczewsko, Krasocin, Kurzelów, Lelów, MoskorzewS. Janaczek, Powiat Włoszczowski w latach 1867–1914, [w:] Powiat Włoszczowski 1999-2009 z zarysem jego wcześniejszych dziejów, red. S. Janaczek, Włoszczowa 2009, s. 20–21. Oleszno, Radków, Rokitno, Secemin, Słupia (jędrzejowska), Szczekociny, Włoszczowa. W 1923 roku do powiatu dołączono Gminę DobromierzR. P. Pacanowski, Samorząd powiatowy w latach 1919–1939, [w:] Powiat Włoszczowski 1999-2009 z zarysem jego wcześniejszych dziejów, red. S. Janaczek, Włoszczowa 2009, s. 39..
Lata 1939–1945
W okresie drugiej wojny światowej powiat włoszczowski formalnie zlikwidowano, a jego teren włączono do powiatu jędrzejowskiego w dystrykcie radomskim Generalnego GubernatorstwaR. Ślęzak, C. Świetlicki, Z dziejów powiatu włoszczowskiego 1945-1975, [w:] Powiat Włoszczowski 1999-2009 z zarysem jego wcześniejszych dziejów, red. S. Janaczek, Włoszczowa 2009, s. 75..
W połowie 1944 roku, sowieckie władze okupacyjne, przy pomocy miejscowych działaczy socjalistycznych, na nowo organizowały struktury i organy administracyjne powiatu włoszczowskiego.