thumb|251x251px|Tani elektromechaniczny mikroukład nawigacji bezwładnościowej, używany w chirurgicznych urządzeniach Quantiteca thumb|251x251px|Przykład urządzenia pomiarowego MEMS i topografia jego powierzchni thumb|251x251px|Moduł LDC mikroskanera 1D z Instytutu Mikroukładów Fotonicznych im. Fraunhofera Mikroukład elektromechaniczny, mikrosystem elektromechaniczny, mikrourządzenie elektromechaniczne, MEMS (od ) – zintegrowana struktura elektromechaniczna, której co najmniej jeden wymiar szczególny znajduje się w skali mikro (0,1–100 μm).
Mikroukład jest zwykle wykonywany w krzemie lub szkle przy użyciu technik mikroobróbki, na przykład trawienia anizotropowego (między innymi w wodorotlenku potasu). Inną techniką jest trawienie krzemu difluorkiem ksenonu: 2 XeF2 + Si → 2 Xe↑ + SiF4↑
Maski do tych procesów wykonywane są w typowych technikach mikroelektronicznych, podobnych do stosowanych przy wytwarzaniu przyrządów półprzewodnikowych i układów scalonych (np. fotolitografia). W ostatnich latach zwiększone zainteresowanie materiałami polimerowymi spowodowało jednak, że zaczęto rezygnować z używania krzemu z powodu jego wysokiej ceny. W przypadku układów polimerowych najczęstszymi technologiami są: wytłaczanie na gorąco, odlewanie w formie, wtryskiwanie;