jeśli rezysty zaliczyć do tej grupy, to również technologie litograficzne.
Jednym z podziałów technologii wytwarzania mikroukładów jest podział ze względu na sposób wykonywania struktury: technologie bezpośrednie – struktura jest wykonywana w elemencie bezpośrednio według projektu, na przykład przy użyciu lasera sterowanego komputerowo technologie pośrednie – do wykonania struktury wykorzystywany jest pewnego rodzaju szablon, na przykład w fotolitografii jest to maska.
Przy tak niewielkich rozmiarach przyrządów ludzka intuicja bywa niewystarczająca do zrozumienia zjawisk rządzących ich działaniem. W mikroprzyrządach elektromechanicznych, na skutek dużego stosunku powierzchni do objętości, zjawiska elektrostatyczne i lepkościowe (zwilżania) mogą dominować nad efektami bezwładności masy lub pojemności cieplnej.
Zastosowania mikrourządzeń elektromechanicznych: czujniki: przyspieszenia (akcelerometry): w samochodach – wykrywanie momentu wypadku (uruchomienie poduszek powietrznych, napinaczy pasów itp.) w aparatach fotograficznych – wykrywanie drgań (stabilizacja obrazu) w komputerach – wykrywanie swobodnego spadania (zabezpieczenie dysku twardego przed uszkodzeniem w momencie upadku) w nowoczesnych zabawkach