backscattered electron) – wysokoenergetyczny elektron (umownie o energii kinetycznej większej niż 50 eV), który uległ sprężystemu odbiciu i opuścił jednocześnie powierzchnię materiału (umownie z głębokości powyżej 50 nm) praktycznie bez utraty energii kinetycznej (rys. 3). Liczba elektronów BSE jest bardzo mała w stosunku do liczby elektronów wtórnych. Ilościowo elektrony BSE są określane przez współczynnik wstecznego rozpraszania η, definiowany jako stosunek natężenia wiązki (docierającej do detektora) do natężenia wiązki pierwotnej. Współczynnik wstecznego rozpraszania zależy liniowo od liczby atomowej Z (powyżej Z = 40 rośnie monotonicznie), Istnieje możliwość oszacowania obszaru półkulistego, z którego są emitowane elektrony wstecznie rozproszone:
gdzie: – masa atomowa [u], – liczba atomowa, – energia wiązki pierwotnej [eV], – gęstość [g/m³].
thumb|80pxys. 4. Emisja elektronu Augera thumb|Rys. 5. Emisja promieniowania X
Elektron Augera