Zalety metody to bardzo wysoka czułość i duża rozdzielczość w osi pionowej, która zwykle wynosi mniej niż 1 nm. Jest to technika bezpośrednia nie wymagająca modelowania. Kontakt z powierzchnią jest często zaletą w brudnym środowisku, gdzie metody bezkontaktowe mogą prowadzić do pomiaru zanieczyszczeń powierzchniowych zamiast samej powierzchni. Ze względu na fakt, że igła styka się z powierzchnią próbki, nie jest ona czuła na jej kolor i odbicie. Promień igły pomiarowej może wynosić nawet 20 nm, co jest znacznie lepsze niż profilowanie optyczne w świetle białym.
Zobacz też
Topografia
Przypisy
Bibliografia str. 36-37.
Kategoria:Przyrządy pomiarowe