Le dichlorosilane est un composé chimique de formule . Il se présente sous la forme d'un gaz incolore d'odeur piquante extrêmement inflammable et susceptible de former des mélanges explosifs avec l'air. Il est principalement utilisé dans l'industrie microélectronique avec l'ammoniac pour déposer des couches minces de nitrure de silicium par dépôt chimique en phase vapeur basse pression (LPCVD) :
3 + 4 → + 6 HCl + 6 .
Il est produit essentiellement par dismutation du trichlorosilane avec formation parallèle de tétrachlorure de silicium :
2 + .
Notes et références
Catégorie:Chlorure Catégorie:Silane