vignette|Schéma de l'unité de dispositif de micro-miroirs numérique, dessiné dans Inkscape Les microsystèmes opto-électro-mécaniques (ou MOEMS, sigle de l'anglais Micro-Opto-Electro-Mechanical SystemsCEA Techno(s), n°53, novembre 2000) forment un sous-ensemble des systèmes micro-électro-mécaniques (MEMS, Micro-Electro-Mechanical Systems). Les MOEMS, fabriqués à partir de matériaux semi-conducteurs, sont capables de capter ou de manipuler des signaux optiques à une échelle très petite, utilisant des systèmes mécaniques ou électriques intégrés.
La technique de fabrication des MOEMS est basée sur celle des circuits intégrés. Les matériaux utilisés sont le silicium, le dioxyde de silicium (), le nitrure de silicium et l'arséniure de gallium (GaAs).
Quelques exemples de MOEMS
Interrupteurs optiquesInterrupteurs optiques, p. 11-13. Connecteurs optiques Matrices de micro-miroirs, ou DMD (Digital Micromirror Device) qui définissent les pixels : la première projection cinéma numérique publique d'Europe effectuée par Philippe Binant, en 2000, reposait sur l'utilisation d'un MOEMS développé par TI Cahiers du cinéma, n°hors-série, avril 2000, p. 32.. VCSEL à longueur d'onde variable (Diode laser à cavité verticale émettant par la surface) Microbolomètres (bolomètre à l'échelle micromètrique)
Voir aussi Bibliographie
Allain Trouillet, Introduction à la Micro Optique, cours en ligne, 2008 Présentation descriptive de l'historique, des principaux concepts de bases et des principales techniques de fabrication des microsystèmes optiques, Consortium « Optique pour l'ingénieur» Allain Trouillet, Applications de la micro-optique, cours en ligne, 2008 Présentation descriptive des applications principales des microsystèmes optiques classées à la fois en fonction des propriétés optiques mises en jeu et des domaines d'application envisagés, consortium « Optique pour l'ingénieur»
Notes
Articles connexes Microsystème électromécanique (MEMS) Microélectronique
Liens MEMS
Catégorie:Microélectronique